薄膜の机械的性の最适化と光学薄膜材料下载文件详细资料
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  文件名称:  薄膜の机械的性の最适化と光学薄膜材料
  公司名称:  RHESCA上海代表处
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本文为日本オプトソルテック株式会社技术部撰写的一篇文章,介绍了光学薄膜材料中特别是TiO 2薄膜的机械特性。从作者制作的蒸着膜的结果,以及搜集整理的研究者们根据各种成膜方法制作的薄膜的机械特性报告数据,确认了应力,硬度,弹性率、附着力等机械特性,通过因成膜方法和成膜条件等不同而变化的薄膜的密度和结晶性,而相互影响。另外,因为这些特性也关系到光学特性,所以在探索符合机械特性薄膜的制作方法和满足条件的同时,还必须兼顾考虑光学特性。另外,因兼顾光学特性会导致在材料的选择上范围变窄,但通过对材料的种类或状态的选择,来控制薄膜的机械特性也是可能的。
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